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台车式坩埚烧结炉

作者: 来源: 日期:2013-8-13 16:55:30 人气:188  

一、设备用途:
主要用于硅锭坩埚喷涂后的烧结;产品进入炉内后,根据产品的工艺曲线升温、保温、分段降温,总的工艺时间可以控制在27小时以内。
二、设备技术参数:
1.炉膛尺寸: 3000×950×950mm(L×W×H)。
2.炉体外型: 3900×1800×2250mm(L×W×H)。
3.最高温度:1200℃。
4.工作温度: 1100℃。
5.控温精度: ±2℃(以仪表显示为准)。
6.装机功率: 180KW。
7.炉体表面温升: ≤35℃。
8.控温组数: 3个温区,3点控温。
9.加热方式:炉膛2侧面、后墙、炉门、台车共5面加热。
10.工作台承载:≤550kg。
三、设备组成部分:
1.炉体:由炉衬和骨架组成。
2.炉门:在台车进端设有炉门,炉门上设有一定的加热丝,加热丝呈下密上疏排列以提高炉膛内部温度的均匀性,为了提高炉膛的保温性,炉门用高铝纤维板和硅酸铝纤维板砌筑。
3.工作台车:工作台车主要用来承载产品,为了使坩埚受热均匀,在台车上放置有碳化硅管,坩埚放置在碳化硅管上,使其底部形成热气对流通道,这样使坩埚能充分均匀地加热。
4.密封装置:在台车与炉体的接缝处,设有一套自动密封装置,弥补台车与炉体之间的缝隙,彻底封住进入炉膛的空气。密封装置用2个微型电机进行开闭。
5.进风系统:进风系统由一台鼓风机、插板阀、管路组成。
6.排风系统:排风系统位于炉体顶部,主要由排风电机、蝶阀、集风罩、排风管组成。
7.电气控制系统。
四、设备常见故障:

故障现象
故障判断
故障排除办法
设备上电后,电源指示灯不亮
检查配电柜进线位置电源是否正常,检查指示灯是否损坏
重新连接电源或更换指示灯,重新安装或更换保险丝,注意保险丝一定按规格更换
温区加热时有电压,但无电流显示
检查仪表的输出,检查调压器的输出,检查电流表是否良好,(可以单独使用手动功能,调试该温区的状态),或上述之间的连线
更换调压器或电流表或重新连接上述部件之间的连接线
加热时突然发现电流值减小
检查仪表的输出是否为全功率,或检查调压器的导通后的压降值,是否为全导通,检查电阻丝有无出现断裂
升温曲线斜率设置过缓,导致仪表没有全功率输出,重新设置曲线,或更换加热电阻丝
加热温度跟不上设定值,电流值达不到平常的额定值
检查有无电阻丝断裂,检查仪表和调压器的输出是否最大
更换加热电阻丝
触摸屏的画面出现点击不起作用
触摸屏因触摸过快而出现死机现象
可断开触摸屏的电源从新上电即可
台车加热处电极出现打火现象
电极两处接触不好
调节电极的压紧弹簧即可
出现超温报警
如果在升温段出现,可检查仪表的输出,或检查调压器的输出电压
如果仪表的输出还有,即为PID参数设置问题,如果仪表的输出全关断,调压器还有输出电压,即为调压器出现故障
台车两侧底部的导向轴承不转
缺少润滑油或轴承损坏
加油或更换新的轴承
车轮不转
缺少润滑油或轴承损坏
加油或更换新的轴承

五、设备特点: 高纯石英坩埚台车式烧结炉采用五面加热结构,自动升降密封,多温区控制,保证温度均匀,PLC控制,可一次烧结6个坩埚,具有操作方便、控制先进、产量高等优点。

注:可根据用户要求设计生产。

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